Automatic frequency following in a corpuscular beam-measuring method using a modulated primary beam.

摘要

Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation von Frequenzdrifterscheinungen eines zu untersuchenden Signals in einer Elektronenstrahlmeßanordnung. Aus dem zu untersuchenden Signal wird ein Regelsignal (Ur) gewonnen und hiermit die Modulationsfrequenz (fb) eines Beam-blanking Generators (BBG) in der Elektronenstrahlmeßanordnung entsprechend dem Frequenzdrift in dem untersuchenden Signal verändert.