发明名称 DEVICE FOR MEASURING THE ANGULAR DISTRIBUTION OF CHARGED PARTICLES DIFFRACTED ON A SAMPLE SURFACE
摘要
申请公布号 EP0152501(B1) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 EP19840101690 申请日期 1984.02.18
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HENZLER, MARTIN, PROF. DR.
分类号 G01Q10/00;H01J37/295;(IPC1-7):H01J37/295;G01N23/207 主分类号 G01Q10/00
代理机构 代理人
主权项
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