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发明名称 THIN FILM-MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0192374(A) 申请公布日期 1989.04.11
申请号 JP19870248854 申请日期 1987.10.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSAME HIROSHI;ARAKI MAKOTO
分类号 C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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