| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN AMORPHOUS FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0192359(A) |
申请公布日期 |
1989.04.11 |
| 申请号 |
JP19880198058 |
申请日期 |
1988.08.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAYAMA SHINJI;SHIIKI KAZUO;TSUKUDA YASUO;KUDO SANEHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/14;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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