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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6490545(A) 申请公布日期 1989.04.07
申请号 JP19870248481 申请日期 1987.09.30
申请人 RICOH CO LTD 发明人 TAKAMATSU YASUHIKO
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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