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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM CHARAKTERISIEREN EINER GENAUIGKEITSEIGENSCHAFT EINER OPTISCHEN LINSE
摘要
申请公布号 DE3732149(A1) 申请公布日期 1989.04.06
申请号 DE19873732149 申请日期 1987.09.24
申请人 ATEQ CORP. 发明人 BORODOVSKY,YAN
分类号 G01M11/02;G03F7/20 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
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