一种偏晶向重掺单晶的拉制方法

摘要

本发明提供一种偏晶向重掺单晶的拉制方法，包括装料、装入偏晶向籽晶、抽空、化料、掺杂、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径和收尾等过程，上述拉制方法使用偏晶向籽晶拉制单晶。本发明利用简单的方法有效降低了重掺单晶的RRV，改善重掺单晶的径向电阻率均匀性。

主权项

一种偏晶向重掺单晶的拉制方法，其特征在于：使用偏晶向籽晶拉制重掺单晶；所述偏晶向籽晶的制备方法包括以下步骤：(1)原料单晶的定位：选取所述原料单晶的头部，选取任意棱线，沿顺时针方向选取离棱线最近的<110>面作为主参考面；(2)在所述原料单晶端面上，平行于所述主参考面的方向为X方向，垂直于所述主参考面的方向为Y方向；(3)切割加工所述原料单晶，使所述主参考面偏离度小于10′，X方向偏离2°‑4°，Y方向偏离度小于30′，切割加工后制成所述偏晶向籽晶。