OXIDE REMOVAL FROM METALLIC CONTACT BUMPS FORMED ON SEMICONDUCTOR DEVICES TO IMPROVE HYBRIDIZATION COLD-WELDS

摘要

Procédé permettant de relier des dispositifs à semi-conducteurs (10 et 10'), possédant chacun une pluralité de bosses métalliques de contact (12 et 12') sur leurs surfaces principales (14 et 14'). On attaque ces dispositifs à l'acide pour éliminer l'oxyde (18) des bosses de contact et pour empêcher leur oxydation successive. Les dispositif sont ensuite orientés de sorte que les bosses (12 et 12') sur les dispositifs respectifs sont alignées l'une en face de l'autre. Par l'application d'une pression sur les dispositfs, on provoque le soudage à froid des bosses l'une sur l'autre, de manière à former un seul dispositif (24).