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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING DEVICES CONTAINING SILICON NITRIDE FILMS
摘要
申请公布号 EP0277766(A3) 申请公布日期 1989.04.05
申请号 EP19880300706 申请日期 1988.01.27
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 CHANG, CHORNG-PING;FLAMM, DANIEL LAWRENCE;IBBOTSON, DALE EDWARD;MUCHA, JOHN AARON
分类号 C01B21/068;C23C16/34;C23C16/50;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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