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经营范围
发明名称
BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6489515(A)
申请公布日期
1989.04.04
申请号
JP19870247625
申请日期
1987.09.30
申请人
SHARP CORP
发明人
YOSHIDA TOMOHIKO;TAKIGUCHI HARUHISA;KUDO HIROAKI
分类号
H01J37/04;G03F7/20;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
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