ION BEAM DEVICE,申请号JP19870247226-传众专利搜索

发明名称	ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6489254(A)	申请公布日期	1989.04.03
申请号	JP19870247226	申请日期	1987.09.30
申请人	FUJI ELECTRIC CO LTD	发明人	ARISAWA TAKESHI
分类号	H01J27/26;H01J37/04;H01J37/08	主分类号	H01J27/26
代理机构		代理人
主权项
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