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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6489444(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870244154 申请日期 1987.09.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MORIYAMA ICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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