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发明名称 VAPOR GROWTH SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPS6489318(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870245230 申请日期 1987.09.29
申请人 NEC CORP 发明人 HASENO YOSHIO
分类号 C23C16/44;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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