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经营范围
发明名称
SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6488140(A)
申请公布日期
1989.04.03
申请号
JP19870243939
申请日期
1987.09.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
FUKAZAWA CHIAKI
分类号
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/956
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
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