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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6489468(A)
申请公布日期
1989.04.03
申请号
JP19870246004
申请日期
1987.09.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NISHIBORI KAZUYA;KAMEYAMA ATSUSHI
分类号
H01L23/522;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/47;H01L29/80;H01L29/812;H01L29/872
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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