发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6489468(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870246004 申请日期 1987.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIBORI KAZUYA;KAMEYAMA ATSUSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/47;H01L29/80;H01L29/812;H01L29/872 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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