发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6489362(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870245405 申请日期 1987.09.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UYA SHINJI
分类号 H01L27/14;H01L27/148;H04N5/335;H04N5/341;H04N5/359;H04N5/369;H04N5/372;H04N5/374 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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