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经营范围
发明名称
REDUCTION TYPE ELECTRON BEAM TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6489432(A)
申请公布日期
1989.04.03
申请号
JP19870246166
申请日期
1987.09.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NAKASUJI MAMORU
分类号
H01J37/141;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
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