发明名称 REDUCTION TYPE ELECTRON BEAM TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6489432(A) 申请公布日期 1989.04.03
申请号 JP19870246166 申请日期 1987.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU
分类号 H01J37/141;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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