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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS6486576(A)
申请公布日期
1989.03.31
申请号
JP19880089054
申请日期
1988.04.13
申请人
HITACHI LTD
发明人
AOKI MASAAKI;SHIGETA JUNJI;KAWABE USHIO;NISHINO JUICHI;WADA YASUO
分类号
H01L39/22;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L39/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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