METHOD AND DEVICE FOR VAPOR GROWTH BY LIGHT PLASMA,申请号JP19880056316-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR VAPOR GROWTH BY LIGHT PLASMA
摘要
申请公布号	JPS6487776(A)	申请公布日期	1989.03.31
申请号	JP19880056316	申请日期	1988.03.11
申请人	FUJITSU LTD	发明人	KURIHARA KAZUAKI
分类号	C23C16/34;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/48;C23C16/50;C30B29/04	主分类号	C23C16/34
代理机构		代理人
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