发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6484747(A) 申请公布日期 1989.03.30
申请号 JP19870244502 申请日期 1987.09.28
申请人 NEC CORP 发明人 KUNIMASA KAZUO
分类号 H01L27/08 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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