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发明名称 VERFAHREN ZUR VORGEGEBEN STRUKTURIERTEN ABSCHEIDUNG VON MIKROSTRUKTUREN MIT LASERLICHT
摘要
申请公布号 DE3730644(A1) 申请公布日期 1989.03.30
申请号 DE19873730644 申请日期 1987.09.11
申请人 BAEUERLE,DIETER,PROF.DR. 发明人 BAEUERLE,DIETER,PROF.DR.
分类号 C23C16/02;C23C16/04;C23C16/48;C23C16/56;H05K3/10;H05K3/14;H05K3/38 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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