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发明名称 PROTECTIVE COATING MATERIAL COMPOSITION FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6485220(A) 申请公布日期 1989.03.30
申请号 JP19870241870 申请日期 1987.09.25
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 KOJIMA MITSUMASA;SAITO TAKAYUKI;KIKUCHI NOBURU;UCHIMURA SHUNICHIRO;SUZUKI HIROSHI;SATO NINTEI;MAKINO DAISUKE
分类号 C08G73/10;H01L21/312 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
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