| 发明名称 |
PROCESS FOR PURIFICATION OF SILANE AND ANALYSIS OF CONTAMINANTS THEREIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3568323(D1) |
申请公布日期 |
1989.03.30 |
| 申请号 |
DE19853568323 |
申请日期 |
1985.04.26 |
| 申请人 |
ETHYL CORPORATION |
发明人 |
SMITH, ISAAC LITTON;NELSON, GUNNER ELWOOD |
| 分类号 |
C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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