发明名称 METHOD OF SIMULTANEOUSLY PRODUCING BIPOLAR AND COMPLEMENTARY MOS TRANSISTORS AS A COMMON SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0204979(B1) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 EP19860106486 申请日期 1986.05.13
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 JACOBS, ERWIN P., DR.;WINNERL, JOSEF, DR.
分类号 H01L21/331;H01L27/092;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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