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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0110924(Y2)
申请公布日期
1989.03.29
申请号
JP19810096861U
申请日期
1981.06.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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