| 发明名称 |
FILM DEPOSITION DEVICE BY MICROWAVE PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6483668(A) |
申请公布日期 |
1989.03.29 |
| 申请号 |
JP19870239301 |
申请日期 |
1987.09.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUZUKI NAOKI;HOUCHIN RIYUUZOU |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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