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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6484634(A) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 JP19870240967 申请日期 1987.09.28
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 INOUE FUMIHIKO;SASAKA MASAAKI
分类号 H01L21/318;H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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