| 发明名称 |
METHOD OF TESTING SEMICONDUCTOR ELEMENT AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6484629(A) |
申请公布日期 |
1989.03.29 |
| 申请号 |
JP19870241629 |
申请日期 |
1987.09.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIYOSHI MOTOSUKE;OKUMURA KATSUYA |
| 分类号 |
G01R19/00;G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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