| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6484641(A) |
申请公布日期 |
1989.03.29 |
| 申请号 |
JP19870240668 |
申请日期 |
1987.09.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
UCHIDA SHINICHI;SHIMAZAKI TOYOYUKI;KAWANAMI YASUSHI;NISHIDA SOICHI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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