| 摘要 |
<p>Système pour le positionnement rigoureux, le long d'un axe (OX) d'un objet (1), tel qu'une plaquette de matière semi-conductrice au cours d'un processus de fabrication de circuits intégrés. Selon l'invention, ce système comporte : - des moyens (15) de commande du moteur (5) pour faire effecteur au chariot (3), un déplacement d'acquisition dont l'amplitude est au moins égale au pas du second réseau optique (10) ; - un générateur (18) engendrant au cours dudit déplacement d'acquisition, un signal de référence périodique, de période égale au pas dudit second réseau ; - des moyens de multiplication (19) pour former le produit dudit signal périodique de référence et du signal réellement délivré par le capteur photoélectrique (14) ; - des moyens (19) pour sommer le signal formé par la succession desdits produits ; - des moyens de calcul (20) pour déterminer le décalage éventuel qui existe entre lesdits réseaux optiques ; et - des moyens (16) de commande du moteur (5) pour amener lesdits réseaux optiques en rigoureux alignement.</p> |
