发明名称 |
DISORDERING OF SEMICONDUCTORS |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0269359(A3) |
申请公布日期 |
1989.03.29 |
申请号 |
EP19870310162 |
申请日期 |
1987.11.18 |
申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
EPLER, JOHN E.;BURNHAM, ROBERT D. |
分类号 |
H01S5/00;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/24;H01L21/263;H01L21/268;H01S5/20;H01S5/34;H01S5/40;(IPC1-7):H01L21/268;H01S3/19 |
主分类号 |
H01S5/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|