发明名称 DISORDERING OF SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 EP0269359(A3) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 EP19870310162 申请日期 1987.11.18
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 EPLER, JOHN E.;BURNHAM, ROBERT D.
分类号 H01S5/00;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/24;H01L21/263;H01L21/268;H01S5/20;H01S5/34;H01S5/40;(IPC1-7):H01L21/268;H01S3/19 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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