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发明名称
PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPS6484153(A)
申请公布日期
1989.03.29
申请号
JP19870243405
申请日期
1987.09.28
申请人
TOKYO KASOODE KENKYUSHO:KK
发明人
AMEZUTSUMI YOSHIAKI
分类号
G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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