发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6483591(A) |
申请公布日期 |
1989.03.29 |
申请号 |
JP19870240207 |
申请日期 |
1987.09.25 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
TAKASU SHINICHIRO;YAMATO MITSUHIRO;HIGUCHI TAKAYOSHI;TAJI HIDEKAZU |
分类号 |
C30B29/06;C30B15/02;H01L21/18 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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