发明名称 MOCVD PROCESS
摘要
申请公布号 JPS6484620(A) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 JP19870243392 申请日期 1987.09.26
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 IEJI HIROYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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