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发明名称 METHOD FOR JUDGING SHAPE OF FINE VOID
摘要
申请公布号 JPS6483105(A) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870241407 申请日期 1987.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO
分类号 G01B15/00;H01L21/66 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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