发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6482634(A) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870242113 申请日期 1987.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 HISAMUNE YOSHIAKI
分类号 H01L23/29;H01L21/316;H01L23/31 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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