发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6482524(A) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870241819 申请日期 1987.09.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGASAWARA NOBUYOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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