| 发明名称 |
Method of eliminating undesirable carbon product deposited on the inside of a reaction chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4816113(A) |
申请公布日期 |
1989.03.28 |
| 申请号 |
US19880159856 |
申请日期 |
1988.02.24 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/26;B01J19/00;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C23G5/00;(IPC1-7):B44C1/22;C03C15/00;C03C25/06 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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