发明名称
摘要
申请公布号 JPS6450050(U) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870142582U 申请日期 1987.09.18
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;B24B37/30;H01L21/304;H01L21/68 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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