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经营范围
发明名称
INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6481243(A)
申请公布日期
1989.03.27
申请号
JP19870237161
申请日期
1987.09.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
HIDA KENJI;AKIBA YUTAKA
分类号
H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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