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发明名称 ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 JPS6481316(A) 申请公布日期 1989.03.27
申请号 JP19870240187 申请日期 1987.09.24
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KAIMOTO AKIRA;ASARI MASATOSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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