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经营范围
发明名称
METHOD OF SUPPLYING RAW MATERIAL OF SOLID ORGANIC METAL
摘要
申请公布号
JPS6481313(A)
申请公布日期
1989.03.27
申请号
JP19870240078
申请日期
1987.09.24
申请人
NEC CORP
发明人
KOBAYASHI KENICHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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