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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF MULTILAYER SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPS6481325(A)
申请公布日期
1989.03.27
申请号
JP19870240090
申请日期
1987.09.24
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUMOTO YOSHINARI
分类号
H01L21/318;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/812
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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