| 发明名称 |
SUBSTRATE CARRYING IN/OUT DEVICE OF SUBSTRATE BAKING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6480469(A) |
申请公布日期 |
1989.03.27 |
| 申请号 |
JP19870238025 |
申请日期 |
1987.09.21 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
MIURA AKIRA;HARADA SADAO |
| 分类号 |
B05C9/14;B05C13/02;B65G13/07;H05K3/00 |
主分类号 |
B05C9/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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