METHOD FOR EVAPORATING METAL ELEMENT OR METAL COMPOUND,申请号JP19870237784-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR EVAPORATING METAL ELEMENT OR METAL COMPOUND
摘要
申请公布号	JPS6479325(A)	申请公布日期	1989.03.24
申请号	JP19870237784	申请日期	1987.09.22
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	AMANO KAGETAKA;HORIE HIROMICHI;MATSUMOTO TATSUHIKO
分类号	C22B9/02;C23C14/24	主分类号	C22B9/02
代理机构		代理人
主权项
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