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发明名称
MOLECULAR RAY CELL SHUTTER
摘要
申请公布号
JPS6479096(A)
申请公布日期
1989.03.24
申请号
JP19870238035
申请日期
1987.09.22
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
YAMAMOTO TAKATOSHI
分类号
C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
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