发明名称 MOLECULAR RAY CELL SHUTTER
摘要
申请公布号 JPS6479096(A) 申请公布日期 1989.03.24
申请号 JP19870238035 申请日期 1987.09.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 YAMAMOTO TAKATOSHI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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