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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6480027(A) 申请公布日期 1989.03.24
申请号 JP19870234856 申请日期 1987.09.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRAKAWA KENJI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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