发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6477963(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870235523 申请日期 1987.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAGUCHI YASUHIRO
分类号 H01L29/205;H01L21/20;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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