| 发明名称 |
REMOVAL OF STATIC ELECTRICITY OF WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6477111(A) |
申请公布日期 |
1989.03.23 |
| 申请号 |
JP19870234199 |
申请日期 |
1987.09.18 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
HIDAKA HIROMI;FUKUDA TAKERU;SHIODA TAKAO;TAKAHASHI KOICHI;SAKANO TATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/304;H05F3/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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