发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6477145(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870234239 申请日期 1987.09.18
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 HOSAKA TAKASHI
分类号 H01L23/522;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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